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在半導(dǎo)體制造中，晶圓表面缺陷與焊點質(zhì)量檢測是保障芯片良率與可靠性的核心環(huán)節(jié)。前者聚焦于納米級表面完整性，后者則關(guān)乎封裝結(jié)構(gòu)的電學(xué)與機械穩(wěn)定性。兩者通過光學(xué)、聲學(xué)及人工智能技術(shù)的深度融合，構(gòu)建起從晶圓制造到封裝測試的全流程質(zhì)量防線。一、晶圓表...
電容式位移傳感器是以電容器為敏感元件，將機械位移量轉(zhuǎn)換為電容器電容量變化的一種傳感器。其特點是結(jié)構(gòu)簡單、分辨率高、工作可靠、動態(tài)響應(yīng)好，可實現(xiàn)非接觸測量，能在惡劣環(huán)境條件下工作，主要用于位移、液位等方面的測量。本產(chǎn)品是一種非接觸電容式原理的精密測量儀器，具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨和無惰性特點外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁能力強和使用操作方便等優(yōu)點。在國內(nèi)研究所，高等院校、工廠和軍工部門得到廣泛應(yīng)用，成為科研、教學(xué)和...
鍵合機是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng)，可以處理從碎片到200mm的基板尺寸。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝，例如陽極，玻璃粉，焊料，共晶，瞬態(tài)液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工具設(shè)計允許對不同的晶圓尺寸和工藝進行快速便捷的重新工具化，轉(zhuǎn)換時間不到5分鐘。這種多功能性非常適合大學(xué)，研發(fā)機構(gòu)或小批量生產(chǎn)應(yīng)用。本產(chǎn)品與大批量制造工具上的鍵合室設(shè)計相同，鍵合程序易于轉(zhuǎn)移，可輕松擴大生產(chǎn)規(guī)模。鍵合機的結(jié)構(gòu)說明：1、爐體：采用雙層水夾層結(jié)構(gòu)，爐壁溫度不超過60℃，內(nèi)外壁為不銹鋼拋光。上...
隨著納米技術(shù)的進步和薄膜工藝的發(fā)展(太陽能電池，CVD，PVD，DLC，MEMS等)，納米力學(xué)測試已成為標(biāo)準(zhǔn)方法。這種方法改進了傳統(tǒng)硬度測試的不足，通過J尖的壓劃頭，高的空間分辨率和較精確的原位載荷-位移數(shù)據(jù)，可以較精確測量小載荷和淺壓痕條件下的材料力學(xué)測試。納米壓痕-單一/多次壓痕，根據(jù)ISO14577測量薄膜、涂層和塊體材料的硬度，楊氏模量，拉伸和vonMises應(yīng)力，接觸剛度等。納米劃痕-采用恒定、漸進和用戶自定義可編程加載方式，評價薄膜、涂層和塊體材料的劃痕硬度和劃痕...
白光干涉儀是目前三維形貌測量領(lǐng)域精度最高的檢測儀器之一。在同等放大倍率下，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀，其它儀器達不到檢測的精度要求。原理：它是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測得...
隔振臺是一款緊湊型模塊化的主動隔振系統(tǒng)，可在寬頻率范圍內(nèi)為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供業(yè)界先進的主動隔振性能。本產(chǎn)品通過消除影響測量的破壞性低頻振動噪聲，幫助用戶從顯微鏡上獲得更多收益，并且平臺采用了低調(diào)的模塊化設(shè)計，無需為大多數(shù)儀器安裝所需的升降設(shè)備，從而簡化了安裝過程。適用于各類大型電子顯微鏡AEM、SEM、ATM、TEM，干擾儀防震臺，輪廓儀防震臺，電子太平防震臺，超快激光系統(tǒng)防震臺，時頻系統(tǒng)防震臺，大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺，激光設(shè)備主動防震！工作原理：安裝有測量和制...