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在材料科學與電子設備制造領域,薄膜技術的突破正推動著產(chǎn)品性能的迭代升級。從柔性顯示屏的透明導電層到半導體芯片的納米級柵極氧化層,膜厚控制精度直接決定了材料的電學、光學及機械性能。膜厚測量儀作為關鍵質(zhì)量檢測工具,憑借其非接觸、高精度、快速分析...
膜厚測量儀是半導體、光學鍍膜、材料科學等領域的關鍵檢測設備,其測量精度直接影響產(chǎn)品質(zhì)量與工藝優(yōu)化。本文以常見接觸式(如臺階儀)與非接觸式(如光譜橢偏儀)儀器為例,系統(tǒng)梳理從儀器校準到數(shù)據(jù)處理的完整操作步驟,助力用戶高效獲取可靠數(shù)據(jù)。一、操作前準備:環(huán)境與樣品預處理1.環(huán)境控制:將儀器置于恒溫(20-25℃)、無振動的工作臺,避免溫度波動或機械振動導致測量誤差。關閉強光光源,減少環(huán)境光對光學類儀器的干擾。2.樣品清潔:用無塵布蘸取異丙醇(IPA)輕輕擦拭樣品表面,去除指紋、灰塵...
在半導體制造的精密世界里,硅片膜層厚度的微小偏差都可能導致器件性能衰減甚至失效。傳統(tǒng)接觸式測量方法因易劃傷晶圓表面、無法實時監(jiān)測等問題,逐漸被非接觸式技術取代。近紅外光(NIR)憑借其特殊的物理特性,成為硅片厚度測量儀的核心光源,為芯片制造、光伏產(chǎn)業(yè)等領域提供了兼具速度與精度的解決方案。一、穿透性與低吸收:NIR破解多層膜“透明迷宮”硅片表面常沉積有氧化硅、氮化硅、多晶硅等多層薄膜,傳統(tǒng)可見光易被膜層吸收或反射,導致測量信號失真。近紅外光(波長范圍780-2500nm)的能量...
動態(tài)激光干涉儀作為現(xiàn)代精密測量領域的儀器,其核心技術體系融合了光學、電子學和計算機科學的創(chuàng)新成果。該系統(tǒng)通過激光干涉原理實現(xiàn)納米級動態(tài)測量,在半導體制造、精密光學和超精密加工等領域具有不可替代的作用。一、核心測量原理基于遜干涉儀的光路架構,采用頻率穩(wěn)定的氦氖激光源(波長632.8nm),通過分束鏡產(chǎn)生參考光和測量光。當測量光經(jīng)運動目標反射后與參考光干涉,形成的明暗條紋變化被高靈敏度光電探測器捕獲。位移量計算公式為:ΔL=N×λ/2其中N為條紋計數(shù),λ為激光波長。采用四象限探測...
在工業(yè)設備減振領域,減振臺座的高度設計常被視為"隱形調(diào)節(jié)閥",其微小變動可能引發(fā)系統(tǒng)減振性能的連鎖反應。通過解析臺座高度與振動傳遞路徑、固有頻率、結(jié)構穩(wěn)定性的動態(tài)關系,可揭示這一參數(shù)在低頻振動控制中的核心價值。一、高度與振動能量的博弈法則當臺座高度從常規(guī)的150mm增至300mm時,振動傳遞路徑長度增加1倍,能量衰減效率提升約15%。這種物理優(yōu)勢在低頻振動場景中尤為顯著:某石化企業(yè)離心泵項目中,通過將臺座高度從設備高度的1/10調(diào)整至1/6,成功將10Hz以下振動幅值降低22...
在半導體芯片制造、柔性顯示面板生產(chǎn)、新能源電池封裝等高級制造領域,薄膜厚度的均勻性是決定產(chǎn)品性能與良率的核心指標。傳統(tǒng)測量方法受限于機械定位速度與單點檢測模式,難以滿足現(xiàn)代產(chǎn)線對"實時、全域、高速"的質(zhì)量控制需求。而新一代自動化厚度測量儀憑借每秒兩個點的測繪能力,以"動態(tài)掃描"替代"靜態(tài)抽檢",正在掀起一場薄膜檢測技術的效率革命。一、極速測繪:技術突破的底層邏輯每秒雙點測繪的實現(xiàn),源于多維度技術協(xié)同創(chuàng)新:1.并行檢測架構:采用雙探頭陣列或分時復用技術,在機械臂移動間隙完成數(shù)據(jù)...