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產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category
LAS系列組裝和檢查紅外系統(tǒng) 定心儀（偏心儀）
UltraINSP 晶圓表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)
UltraFilm薄膜測(cè)量系統(tǒng)
FR-Ultra NIR N3 晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)
QuickOCT-4D--膜厚輪廓儀
QuickPRO-RPS--旋轉(zhuǎn)剖面儀
QuickPRO-3D--表面輪廓儀
QuickOCT-4D —膜厚輪廓儀
iFocus晶圓檢測(cè)系統(tǒng)
EVG720自動(dòng)化SmartNIL紫外納米壓印光刻系統(tǒng)
FR-Mic：全自動(dòng)帶顯微鏡多點(diǎn)測(cè)量膜厚儀
FR-InLine-在線薄膜厚度測(cè)量?jī)x
FR-Scanner AIO-Mic-RΘ150-自動(dòng)化高速薄膜厚度測(cè)量?jī)x
FR-Ultra晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)
FR-ES精簡(jiǎn)薄膜厚度測(cè)量?jī)x
EVG770 NT分步重復(fù)納米壓印光刻機(jī)
EVG850 TB自動(dòng)化臨時(shí)鍵合系統(tǒng)
EVG620 NT掩模對(duì)準(zhǔn)光刻機(jī)系統(tǒng)