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微流控缺陷檢測

簡要描述:微流控缺陷檢測 Nanotronics nSpec Macro可以照亮樣品的整個(gè)面,或設(shè)置照明角度和/或離散照明矢量。 明場,暗場,正交和可配置的傾斜照明角度與可單獨(dú)配置的LED,配合使用可調(diào)節(jié)照明的強(qiáng)度,顏色和位置。

  • 產(chǎn)品型號(hào):Nanotronics nSpec Macro
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時(shí)間:2024-11-09
  • 訪  問  量: 8403

詳細(xì)介紹

微流控缺陷檢測產(chǎn)品簡介

1、nSpec Macro是一種快速自動(dòng)晶圓宏觀檢測儀,無論您有多特殊的晶圓檢查要求,我們都能提供一系列解決方案來讓您獲得快速的結(jié)果。這種緊湊的系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于對(duì)200 mm以下的晶圓進(jìn)行高通量宏觀檢查。 以毫米為單位,nSpec Macro可以自動(dòng)檢測并量化從50到100微米的眾多缺陷,這取決于視場或晶圓尺寸。
2、nSpec Macro可以照亮樣品的整個(gè)面,或設(shè)置照明角度和/或離散照明矢量。 明場,暗場,正交和可配置的傾斜照明角度與可單獨(dú)配置的LED,配合使用可調(diào)節(jié)照明的強(qiáng)度,顏色和位置。
3、該系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)導(dǎo)出CSV文件,并且與SECS / GEM兼容,也可以根據(jù)客戶要求進(jìn)行定制。

自動(dòng)化晶圓處理功能

所有Nanotronicsn Spec Macros都裝有滿足行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求的晶圓裝載機(jī)。Nanotronics創(chuàng)造了末端執(zhí)行器,可將整個(gè)單個(gè)晶圓和/或帶有的晶圓加載進(jìn)去。每個(gè)末端執(zhí)行器都是根據(jù)客戶的需求設(shè)計(jì)的。
光學(xué)特性
暗場照明模式照明角度:0度
傾斜照明模式照明角度:0至80度
明場照明模式照明角度:90度
正交照明模式照明角度:90度(通過鏡頭)
晶圓裝載機(jī)
一次運(yùn)行1個(gè)卡夾:標(biāo)準(zhǔn)H型卡夾
標(biāo)準(zhǔn)晶圓尺寸:50、75、100、150或200mm
控制軟件
配方易于配置,并可以根據(jù)需要保存??梢园错樞蜻M(jìn)行多次掃描,并且在照射角度,強(qiáng)度和波長方面具有*的靈活性。
系統(tǒng)參數(shù)
重量:62kg
尺寸(寬x深x高):67厘米 x 74厘米 x 65厘米
蕞小真空要求:20 in.Hg
電源:110v / 220v,3.5安培


 

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