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EVG501-晶圓鍵合機

簡要描述:EVG501-晶圓鍵合機基本功能:用于學術和工業(yè)研究的多功能手動晶圓鍵合系統(tǒng)?;竟δ埽河糜趯W術和工業(yè)研究的多功能手動晶圓鍵合系統(tǒng)。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質:代理商
  • 產(chǎn)品資料:查看pdf文檔
  • 更新時間:2024-11-26
  • 訪  問  量: 3197

詳細介紹

EVG晶圓鍵合機參數(shù)

大鍵合力 20kN
加熱器尺寸 150mm(小為單個芯片) 200mm(小100mm)
真空 標準0.1mbar(可選1E-5 mbar)

 EVG501-晶圓鍵合機 先進封裝 TSV 微流控加工

基本功能:用于學術和工業(yè)研究的多功能手動晶圓鍵合系統(tǒng)。

適用于:微流體芯片,半導體器件處理,MEMS制造,TSV制作,晶圓先進封裝等。

一、簡介

EVG鍵合機EVG501是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機),可處理從單芯片到150 mm(200 mm鍵合室的情況下為200 mm)的基片。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝,如陽極,玻璃料,焊料,共晶,瞬態(tài)液相和直接鍵合。易于操作的鍵合室和工具設計,讓用戶能快速,輕松地重新裝配不同的晶圓尺寸和工藝,轉換時間小于5分鐘。這種多功能性非常適合大學,研發(fā)機構或小批量生產(chǎn)。鍵合室的基本設計在EVG的HVM(量產(chǎn))工具上是相同的,例如GEMINI,鍵合程序很容易轉移,這樣可以輕松擴大生產(chǎn)量。

二、EVG501-晶圓鍵合機特征

帶有150 mm或200 mm加熱器的鍵合室

*的壓力和溫度均勻性

與EVG的機械和光學對準器兼容

靈活的設計和研究配置

從單芯片到晶圓

各種工藝(共晶,焊料,TLP,直接鍵合)

可選渦輪泵(<1E-5 mbar)

可升級陽極鍵合

開放式腔室設計,便于轉換和維護

兼容試生產(chǎn)需求:

同類產(chǎn)品中的低擁有成本

開放式腔室設計,便于轉換和維護

小占地面積的200 mm鍵合系統(tǒng):0.8㎡

程序與EVG HVM鍵合系統(tǒng)*兼容

晶圓鍵合機日常維護:
1、清潔保養(yǎng):定期清潔設備表面、傳動系統(tǒng)和操作界面,保持設備外部清潔。清理設備內(nèi)部的積塵和異物,確保設備運行暢通。

2、潤滑維護:定期對設備的傳動部件進行潤滑保養(yǎng),確保傳動系統(tǒng)的良好運轉。注意使用適合設備的潤滑油或潤滑脂。

3、看護設備:定期檢查設備的各個部件和傳感器是否正常工作,確保設備的各項功能正常。及時更換損壞的零部件。

4、校準調試:定期對設備進行校準和調試,保證設備的精度和穩(wěn)定性。校準設備的位置、力度、溫度等參數(shù)。

5、定期維護:按照設備的維護手冊或廠家建議的維護周期進行定期保養(yǎng)和維護工作,如更換濾網(wǎng)、清潔光學系統(tǒng)等。

6、培訓操作人員:培訓設備操作人員正確的操作流程和維護方法,提高操作人員的技能和意識,減少設備的誤操作和損壞。

以上是晶圓鍵合機的一些日常維護工作建議,希望對您有所幫助。如果您有具體的維護問題或需要更詳細的維護指導,請咨詢設備的廠家或技術支持部門。

 

 

 

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