納米壓印技術是上世紀90年代Stephen Y Chou，針對傳統光刻受波長限制提出的類似于模板刻印的一種技術。

 

　　納米壓印機是一種非常靈活的壓印設備。它可提供加熱型納米壓印、UV紫外納米壓印以及真空納米壓印。模塊化系統可根據特定需求輕松配置，體積小，容易存放，大可處理210mm圓形的任何尺寸印章和基材。該系統是手動裝卸印章和模板，但所有處理器都是全自動的，軟件用戶可以*控制壓印過程。

 

　　它的原理是：

　　將具有納米結構的模板通過一定壓力，壓入加熱的熔融的高分子薄膜內，待高分子材料冷卻，納米結構定型，移去模板，然后再通過等離子體刻蝕等傳統的微電子加工手段把結構轉移到基底上。 

 

　　納米壓印機擁有以下優(yōu)勢：

　　1、分辨率優(yōu)于10μm，產率優(yōu)于99%；

　　2、同時適用于軟模和剛性模板；

　　3、自動脫模，防止模板和基板損壞；

　　4、可壓印不同尺寸的模板和基片，方便靈活；

　　5、可編程的PLC觸屏界面；

　　6、對準選項。

 

　　可支持壓印工藝：

　　1、納米壓印模板自動脫離工藝-減少納米壓印結構缺陷；

　　2、納米壓印膠點膠裝置-可過濾0.20um的雜質，保證壓印效果；

　　3、納米壓印單層壓印工藝-適合刻蝕（etching）工藝；

　　4、納米壓印雙層壓印工藝-適合剝離（lift-off）工藝；

　　5、納米壓印程序設定及優(yōu)化工藝-可掌握納米壓印關鍵技巧；

　　6、納米壓印模板抗粘層處理及材料-可對模板進行抗粘層處理；

　　7、納米壓印模板復制工藝-可完成復制母版工藝；

　　8、納米壓印快速模板轉換工藝-可使用硅模板簡單轉化并實現UV壓印工藝；

　　9、納米壓印軟膜壓印工藝-提供完整的軟膜壓印工藝，可完成曲面壓印并減少壓印結構缺陷。