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關(guān)于橢圓偏振儀的調(diào)整要點(diǎn),下面有詳細(xì)說(shuō)明

更新時(shí)間:2020-12-30  |  點(diǎn)擊率:1494
  橢圓偏振儀是一種用于探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量設(shè)備。由于并不與樣品接觸,對(duì)樣品沒有破壞且不需要真空??蓽y(cè)的材料包括:半導(dǎo)體、電介質(zhì)、聚合物、有機(jī)物、金屬、多層膜物質(zhì)。可以應(yīng)用于半導(dǎo)體、通訊、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、光學(xué)鍍膜、平板顯示器、科研、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域。

  主要功能:
  測(cè)量樣品的偏振參量信息等,可用于在線監(jiān)測(cè),也可用于離線的樣品測(cè)試;可使用不同大小的光斑探測(cè)樣品。

  橢圓偏振儀的調(diào)整要點(diǎn)主要步驟:
  1、調(diào)整分光計(jì);
  2、調(diào)共軸(注意:用校光片,先不放檢偏器調(diào),可以用白紙防在望遠(yuǎn)鏡的目鏡處看光點(diǎn)是否在中央;然后放上檢偏器再調(diào),注意令水平盤的О對(duì)準(zhǔn)游標(biāo)的0);
  3、定檢偏器的位置(望遠(yuǎn)鏡轉(zhuǎn)66°,加黑色反光板,檢偏器90°向上,使探測(cè)器光強(qiáng)達(dá)到小,整體轉(zhuǎn)檢偏器合適后固定);
  4、定起偏器的位置(望遠(yuǎn)鏡轉(zhuǎn)回到與平行光管對(duì)正,起偏器О°向上,空載物臺(tái),整體轉(zhuǎn)起偏器達(dá)到光強(qiáng)小后固定);
  5、安裝1/4波片,定1/4波片的0位(只轉(zhuǎn)波片,不要轉(zhuǎn)手動(dòng)輪,使光強(qiáng)達(dá)到?。?;
  6、望遠(yuǎn)鏡轉(zhuǎn)40°,放樣品;
  7、將1/4波片的手動(dòng)輪轉(zhuǎn)+45°和-45°,輪流轉(zhuǎn)檢偏器和起偏器達(dá)到光強(qiáng)讀數(shù)小,開始讀取分光計(jì)的讀數(shù)。

  注意事項(xiàng):
  1、個(gè)實(shí)驗(yàn)過程中不得旋動(dòng)平行光管,以保證入射面不改變,否則會(huì)改變S,Р坐標(biāo)軸的方位而使起偏器零點(diǎn)的位置發(fā)生改變。
  2、整個(gè)實(shí)驗(yàn)過程中,特別是轉(zhuǎn)動(dòng)望遠(yuǎn)鏡時(shí),不得調(diào)節(jié)望遠(yuǎn)鏡鏡筒的高低。
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