国产成人一区二区三区免费视频,八戒八戒神马在线电影免费,男人狂躁进女人下面免费视频,国产清纯女高中生被C

當(dāng)前位置:首頁  >  技術(shù)文章  >  接近式光刻機(jī)的使用原理及性能指標(biāo)

接近式光刻機(jī)的使用原理及性能指標(biāo)

更新時間:2024-09-09  |  點擊率:876
  大家也許還不是非常的清楚,光刻機(jī)的種類有非常的多,其中的技術(shù)原理也不盡相同,下面就由我來給大家簡單介紹一下有關(guān)接近式光刻機(jī)的使用原理及性能指標(biāo)。
 
  接近式光刻機(jī)的使用原理:
  其實在我國對于接近式光刻機(jī),曝光時掩模壓在光刻膠的襯底晶片上,其主要優(yōu)點是可以使用價格較低的設(shè)備制造出較小的特征尺寸。
  我們也許不知道接觸式光刻和深亞微米光源已經(jīng)達(dá)到了小于0.1gm的特征尺寸,常用的光源分辨率為0.5gm左右。該光刻機(jī)的掩模版包括了要復(fù)制到襯底上的所有芯片陣列圖形。在襯底上涂上光刻膠,并被安裝到一個由手動控制的臺子上,臺子可以進(jìn)行X、y方向及旋轉(zhuǎn)的定位控制。
  在操作過程中掩模版和襯底晶片需要通過分立視場的顯微鏡同時觀察,這樣操作者用手動控制定位臺子就能把掩模版圖形和襯底晶片上的圖形對準(zhǔn)了。經(jīng)過紫外光曝光,光線通過掩模版透明的部分,圖形就轉(zhuǎn)移到了光刻膠上。該光刻機(jī)的主要缺點是依賴于人操作,由于涂覆光刻膠的圓片與掩模的接觸會產(chǎn)生缺陷,每一次接觸過程,會在圓片和掩模上都造成一定的缺陷。因此,設(shè)備一般用于能容忍較高缺陷水平的器件研究和其他應(yīng)用方面。
 
  接近式光刻機(jī)的外觀圖片:
 

 

  接近式光刻機(jī)的性能指標(biāo):
  設(shè)備的主要性能指標(biāo)有:支持基片的尺寸范圍,分辨率、對準(zhǔn)精度、曝光方式、光源波長、光強(qiáng)均勻性、生產(chǎn)效率等。
  1.分辨率是對光刻工藝加工可以達(dá)到的最細(xì)線條精度的一種描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以與光源、光刻系統(tǒng)、光刻膠和工藝等各方面的限制。
  2.對準(zhǔn)精度是在多層曝光時層間圖案的定位精度。
  3.曝光方式分為接觸接近式、投影式和直寫式。
  4.曝光光源波長分為紫外、深紫外和極紫外區(qū)域,光源有汞燈,準(zhǔn)分子激光器等。
天天综合亚洲色在线精品| 久久久久久亚洲精品无码| 欧美日韩视频在线第一区| 精品人人妻人人澡人人爽牛牛| 亚洲另类欧美综合久久图片区| 岳把我用嘴含进满足我视频| 少妇人体metcn| 少妇性饥渴姓交hdsex| 办公室浪荡女秘在线观看| 国产在线精品成人一区二区三区 | 国产精品久线在线观看| 国产精品久久高潮呻吟无码| 欧美老妇交乱视频在线观看| 人人妻人人藻人人爽欧美一区| 男男车车的车车网站w98免费 | 久久精品无码av| 伊人久久香线蕉综合色啪| 少妇大叫太大太粗太爽了a片| 国模精品一区二区三区| 少妇人妻精品一区二区三区| 欧美肥老太交性506070| 少妇荡乳情欲办公室a片| 久久久久久AV无码免费网站 | 久久av无码精品人妻系列| 全免费a级毛片免费看无码| 亚洲AV无码成人精品区在线观看| 亚洲色素色无码专区| 亚洲精品中文字幕无码蜜桃| 国产精品久久久久久久久久久不卡 | 国产精品久久久久精品三级卜| 成人乱人乱一区二区三区 | 国产97人人超碰CAOPROM| 玩弄放荡人妻少妇系列视频| 性按摩XXXX在线观看| 久久精品国产精品青草| 久久亚洲精品久久国产一区二区| 国产精品丝袜久久久久久不卡| 日本精产国品一二三产品| 欧美乱妇狂野欧美在线视频| 亚洲视频一区| 国产精品久久久久精品香蕉|