国产成人一区二区三区免费视频,八戒八戒神马在线电影免费,男人狂躁进女人下面免费视频,国产清纯女高中生被C

當前位置:首頁  >  技術文章  >  解析!晶圓鍵合機三維集成電路關鍵技術

解析!晶圓鍵合機三維集成電路關鍵技術

更新時間:2023-02-24  |  點擊率:1279
  晶圓鍵合機的晶圓級三維集成是一個新的概念,利用許多高級技術實現(xiàn)電路密度的增加和體積的縮小。下面介紹三項重要的關鍵技術。
 
  1、對準和鍵合:
  對準不精確導致電路故障或可靠性差。因此,對準精度的高低主導了的晶片接觸面積和三維集成電路堆疊的成品率。對準精度與對準器和對準標記有關。也受操作員個人經(jīng)驗的影響。
 
  銅被廣泛用于標準CMOS制造中。因此,銅是三維集成中連接兩個設備層或晶圓的較好的選擇。銅晶圓鍵合的原理是讓兩個晶片接觸然后熱壓縮。在鍵合過程中,兩個晶片的銅層可以相互擴散以完成鍵合過程。集成的質(zhì)量與晶圓表面的清潔度和鍵合時間有關。
 
  一般來說,溫度至少300~400℃才能完成銅鍵合。可以根據(jù)其界面的形態(tài)來確定鍵合質(zhì)量。為了獲得好的銅晶片鍵合的結(jié)果,條件是400℃加熱30分鐘,接著400℃氮氣環(huán)境退火30或60分鐘。雖然高溫和高壓可能會提高鍵合質(zhì)量,但相應的成本和設備的損耗也成為需要關注的主要問題。因此,在較低的溫度和壓力下的鍵合方法是三維集成的主要目的。
  
  2、晶片減薄技術:
  三維集成技術極大的增大集成電路密度的同時也帶來了散熱困難的問題。由于硅基板和金屬材料之間存在電阻,當通過電流時,會有發(fā)熱效應。而熱量不斷的產(chǎn)生會使芯片的背面產(chǎn)生一種內(nèi)應力,而內(nèi)應力較大時會使芯片直接破裂,加快了芯片的損壞速度。通過使用芯片減薄工藝,不僅可以有 效的降低集成電路的內(nèi)阻,優(yōu)化各芯片的散熱性能,還提高了電路的穩(wěn)定性的和縮小了芯片體積,更符合集成電路整體小型化的趨勢。
 
  3、硅基板穿孔技術(TSV):
  硅通孔的概念是由諾貝爾獎得主WilliamShockley最早提出來的,硅基板穿孔(TSV)在晶片與晶片之間、晶圓與晶圓之間制作垂直導通,實現(xiàn)晶片之間互聯(lián)的技術。該技術能夠使晶片在三維方向上堆疊的密度達到最大,因此不同基板的晶片通過硅基板穿孔技術進行立體堆棧整合后,不僅可縮短金屬導線的和聯(lián)機電阻,更能減小晶片的體積。
 
 ?、傧韧坠に嚒O韧坠に囀窃贑MOS器件制作之前,在空白硅片上完成通孔制作和導電材料的填充。在這個方案中,填充材料不能是金屬,比如銅。此外,由于在這個階段還沒有金屬互連,先通孔工藝的縱寬比是小于后通孔工藝的。
 
 ?、诤笸坠に?。后通孔工藝是在BEOL完成后,在CMOS即將制作完成和但還未進行減薄工藝處理的硅片上預留的空白區(qū)進行鉆蝕通孔。該技術包括鉆孔和填充過程,為了不破壞設備和電路,應在低于熱預算的溫度環(huán)境下制作。
 
 ?、跿SV工藝流程。整個硅基板穿孔過程可大致分為兩個部分:第一部分是通孔的蝕刻,第二部分填充通孔。硅基板穿孔的蝕刻難度取決于減薄后的晶圓的厚度。當目標蝕刻深度太深,通孔的開口尺寸通過需要相應地擴大,這也導致晶片尺寸的增加。填充材料也是需要考慮的問題。銅、鎢和多晶硅是典型的硅基板穿孔填充材料的選擇。在這些材料中,銅和鎢的只能用在后通孔方案中,而多晶硅可用于先通孔和后通孔方案中。銅是一種工藝兼容材料,殘余應力少,電子性能好,但難以填充高縱寬比的通孔。相反,鎢很容易填充到高寬比的通孔,但其殘余應力高是一個很大的問題。多晶硅可用于硅基板穿孔的先通孔方案中,但它的電阻比金屬高??紤]到每種材料的優(yōu)點和缺點,硅基板穿孔填充材料的選擇對三維集成具有重要意義,特別是對于晶圓鍵合機的晶圓級三維集成。

 

人妻体验按摩调情BD| 国产精品狼人久久久久影院| 亚洲精品无码少妇30P| 亚洲 欧美 日韩 国产 高清| 亚洲欧美综合在线一区| 特黄特色大片免费播放| 免费无码中文字幕a级毛片| 色欲av精品人妻一区二区 | 国产99久久精品一区二区| 无人高清视频免费观看在线| 中文字幕人妻中文av不卡专区| 苍井空一区二区波多野结衣av| 少妇中文字幕乱码亚洲影视| 精品国产污污免费网站入口| 亚洲日韩中文无码久久| 色欲av精品人妻一区二区三区| 国产l精品国产亚洲区久久| 日韩欧美亚洲综合久久影院DS | 性过程三级视频视频| 中文无码AV一区二区三区| 超清精品丝袜国产自在线拍| 免费观看夜里30款禁用软件| 777午夜精品久久av蜜臀| 久久69国产精品久久69软件| 亚洲成色在线综合网站| 亚洲成a人无码亚洲成a无码| 日韩国产成人无码av毛片| 久久亚洲精品中文字幕无码| 日本精品久久久久中文字幕| 永久免费精品精品永久-夜色| 丰满少妇高潮惨叫正在播| 无套内谢少妇毛片a片| 色欲人妻aaaaaaa无码| 亚洲一线产区二线产区区别| 亚洲成色在线综合网站| 最近中文2019字幕第二页| 诱人的妺妺2中文在线观看| 欧美xxxx做受老人| 无码专区—VA亚洲V天堂| 亚洲精品久久久久av无码| 男女真人抽搐一进一出免费视频 |