多層膜厚度測(cè)試是指對(duì)由多個(gè)薄膜層疊加而成的復(fù)合膜進(jìn)行厚度測(cè)量。由于多層膜通常由幾個(gè)不同材料的薄膜層組成，因此測(cè)量其厚度需要考慮不同層之間的界面影響以及每個(gè)單獨(dú)層的厚度。
多層膜厚度測(cè)試儀是一款快速、準(zhǔn)確測(cè)量薄膜表征應(yīng)用的模塊化產(chǎn)品。它采用先進(jìn)的超聲波技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了較好的測(cè)量精度，具有優(yōu)秀重復(fù)性和再現(xiàn)性。產(chǎn)品可以在任何生產(chǎn)環(huán)境中操作。附帶的Windows應(yīng)用軟件管理數(shù)據(jù)傳輸和自動(dòng)超聲波波形分析。
目前，產(chǎn)品可應(yīng)用于在線膜厚測(cè)量、測(cè)氧化物、SiNx、感光保護(hù)膜和半導(dǎo)體膜。同時(shí)多層膜厚度測(cè)試儀還可以用來測(cè)量鍍?cè)阡摗X、銅、陶瓷和塑料等上的粗糙膜層。薄膜表面或界面的反射光會(huì)與從基底的反射光相干涉，干涉的發(fā)生與膜厚及折光系數(shù)等有關(guān)，因此可通過計(jì)算得到薄膜的厚度。光干涉法是一種無損，且快速的光學(xué)薄膜厚度測(cè)量技術(shù)，薄膜測(cè)量系統(tǒng)采用光干涉原理測(cè)量薄膜厚度。
多層膜厚度測(cè)試儀的特點(diǎn)：
1、可以測(cè)量多層膜中每一層的厚度；
2、遠(yuǎn)程控制和在線測(cè)量；
3、豐富的材料庫：操作軟件的材料庫帶有大量材料的n和k數(shù)據(jù)，基本上常用材料都包括在這個(gè)材料庫中。用戶也可以在材料庫中輸入沒有的材料；
4、操作簡(jiǎn)單，測(cè)速快：膜厚測(cè)量?jī)x操作非常簡(jiǎn)單；
5、帶有可升級(jí)的掃描功能，進(jìn)行薄膜二維的測(cè)試，并將結(jié)果以2D或3D的形式顯示；
6、帶有構(gòu)建材料結(jié)構(gòu)的拓展功能，可對(duì)多層薄膜數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合分析，可對(duì)薄膜材料進(jìn)行預(yù)先模擬設(shè)計(jì)。
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