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影響納米壓痕試驗(yàn)的因素有哪些?

更新時(shí)間:2022-07-04  |  點(diǎn)擊率:2187
納米壓痕技術(shù)也稱(chēng)深度敏感壓痕技術(shù),是測(cè)試材料力學(xué)性質(zhì)的方法之一,可以在納米尺度上測(cè)量材料的各種力學(xué)性質(zhì),如載荷-位移曲線(xiàn)、彈性模量、硬度、斷裂韌性、應(yīng)變硬化效應(yīng)、粘彈性或蠕變行為等。可適用于有機(jī)或無(wú)機(jī)、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測(cè)分析,包括PVD、CVD、PECVD薄膜,感光薄膜,彩繪釉漆,光學(xué)薄膜,微電子鍍膜,保護(hù)性薄膜,裝飾性薄膜等等。

影響納米壓痕試驗(yàn)的因素很多,主要影響因素可歸納為以下幾種:

1.接觸零點(diǎn)的確定

2.力和位移的測(cè)定包括環(huán)境波動(dòng)的影響和磁場(chǎng)強(qiáng)度所引起的變化

3.卸載曲線(xiàn)的擬合

4.熱漂移速率

5.由于表面粗糙度引起的接觸面積變化

6.力,位移的校準(zhǔn)值

7.試驗(yàn)設(shè)備的柔度

8.壓頭面積函數(shù)的校準(zhǔn)值

9.由于試驗(yàn)設(shè)備的溫度和最后一次校準(zhǔn)后時(shí)間不確定度引起的校準(zhǔn)漂移

10.試樣表面與壓入方向的不垂直度。

 

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