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一分鐘帶您快速了解多波段橢偏儀的構(gòu)造

更新時(shí)間:2022-02-22  |  點(diǎn)擊率:2001
  近年來(lái),隨著儀器行業(yè)的不斷發(fā)展,多波段橢偏儀在市場(chǎng)上得到了快速地發(fā)展。由于其突出的表現(xiàn),受到了廣泛用戶的青睞。目前本產(chǎn)品可以適用于超薄膜,與樣品非接觸等,下面我們就來(lái)具體的了解一下這款儀器!

  多波段橢偏儀的測(cè)量中使用不同的硬件配置,但每種配置都必須能產(chǎn)生已知偏振態(tài)的光束。測(cè)量由被測(cè)樣品反射后光的偏振態(tài)。這要求儀器能夠量化偏振態(tài)的變化量ρ。
 
  有些儀器測(cè)量ρ是通過(guò)旋轉(zhuǎn)確定初始偏振光狀態(tài)的偏振片。再利用第二個(gè)固定位置的偏振片來(lái)測(cè)得輸出光束的偏振態(tài)。另外一些儀器是固定起偏器和檢偏器,而在中間部分調(diào)制偏振光的狀態(tài),如利用聲光晶體等,最終得到輸出光束的偏振態(tài)。這些不同的配置的最終結(jié)果都是測(cè)量作為波長(zhǎng)和入射角復(fù)函數(shù)ρ。
 
  在選擇合適的多波段橢偏儀時(shí)候,光譜范圍和測(cè)量速度也是一個(gè)通常需要考慮的重要因素。可選的光譜范圍從深紫外的142nm到紅外的33microm。光譜范圍的選擇通常由應(yīng)用決定。不同的光譜范圍能夠提供關(guān)于材料的不同信息,合適的儀器必須和所要測(cè)量的光譜范圍匹配。
 
  測(cè)量速度通常由所選擇的分光儀器來(lái)決定。單色儀用來(lái)選擇單一的、窄帶的波長(zhǎng),通過(guò)移動(dòng)單色儀內(nèi)的光學(xué)設(shè)備,單色儀可以選擇感興趣的波長(zhǎng)。這種方式波長(zhǎng)比較準(zhǔn)確,但速度比較慢,因?yàn)槊看沃荒軠y(cè)試一個(gè)波長(zhǎng)。如果單色儀放置在樣品前,有一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是明顯減少了到達(dá)樣品的入射光的量。另外一種測(cè)量的方式是同時(shí)測(cè)量整個(gè)光譜范圍,將復(fù)合光束的波長(zhǎng)展開(kāi),利用探測(cè)器陣列來(lái)檢測(cè)各個(gè)不同的波長(zhǎng)信號(hào)。在需要快速測(cè)量的時(shí)候,通常是用這種方式。傅立葉變換分光計(jì)也能同時(shí)測(cè)量整個(gè)光譜,但通常只需一個(gè)探測(cè)器,而不用陣列,這種方法在紅外光譜范圍應(yīng)用最為廣泛。

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